爱游戏-可量产0.2nm工艺!ASML公布Hyper NA EUV光刻机

[导读]6月16日动静,ASML客岁底向Intel交付了全球第一台High NA EUV极紫外光刻机,同时正在研究更壮大的Hyper NA EUV光刻机,估计可将半导体工艺推动到0.2nm摆布,也就是2埃米。 6月16日动静,ASML客岁底向Intel交付了全球第一台High NA EUV极紫外光刻机,同时正在研究更壮大的Hyper NA EUV光刻机,估计可将半导体工艺推动到0.2nm摆布,也就是2埃米。 ASML第一代Low NA EUV光刻机孔径数值只有0.33,对应产物定名NXE系列,包罗已有的3400B/C、3600D、3800E,和将来的4000F、4200G、4X00。 该系列估计到2025年可以量产2nm,再往后就得插手多重暴光,估计到2027年能实现1.4nm的量产。 High NA光刻机进级到了0.55,对应产物EXE系列,包罗已有的5000、5200B,和将来的5400、5600、5X00。 它们将从2nm以下工艺起步,Intel首发就是14A 1.4nm,估计到2029年摆布能过量产1nm,共同多重暴光可以在2033年前后做到0.5nm的量产,最少也能撑持到0.7nm。 接下来的Hyper NA光刻机估计将到达0.75乃至更高,2030年前后推出,对应产物定名为HXE系列。 ASML估计,Hyper AN光刻机也许能做到0.2nm乃至更进步前辈工艺的量产,但今朝还不克不及完全必定。 江南体育值得一提的是,单个硅原子的直径约为0.1nm,可是上边提到的这些工艺节点,其实不是真实的晶体管物理尺寸,只是一种等效说法,基在机能、能效必然比例的晋升。 好比说0.2nm工艺,现实的晶体管金属间距年夜约为16-12nm,以后将继续缩减到14-10nm。 Low/High/Hyper三种光刻机遇配合利用单一的EUV平台,年夜量的模块城市彼此通用,从而年夜年夜下降研发、制造、摆设本钱。 不外,High NA光刻机的单台价钱已高达约3.5亿欧元,Hyper NA光刻机必定继续年夜幅涨价,并且更加迫近物理极限,所以不管手艺仍是本钱角度,Hyper NA以后该怎样走,谁的心里都没数。 微电子研究中间(IMEC)的项目总监Kurt Ronse就灰心地暗示:“没法想象只有0.2nm尺寸的装备元件,只相当在两个原子宽度。也许到了某个时刻,现有的光刻手艺必定终结。”

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本地时候6月11日,光刻机巨子ASML在领英平台发文吊唁公司开创人之一Wim Troost(维姆·特罗斯)离世。

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6月4日动静,据媒体报导,比利时微电子研究中间(IMEC)与阿斯麦(ASML)公布在荷兰费尔德霍芬(Veldhoven)开设结合High-NA EUV光刻尝试室(High NA EUV Lithography Lab)。

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援用俄罗斯塔斯社最新动静,俄罗斯自研的首台光刻机已制造完成,今朝正在进行测试。

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本地时候4月22日,ASML公布已与荷兰埃因霍温市当局签订了一份意向书,打算在该市的北部机场四周进行扩建,届时将可容纳2万名新员工。这也许意味着,其搬离荷兰的打算也将告一段落了。

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4月23日动静,荷兰对光刻机巨子阿斯麦分开的动静感应十分管忧,但此刻环境有了较着的好转。

要害字: 光刻机 7nm

业内动静,近日光刻机制造商阿斯麦(ASML)发布了2024年第一季度事迹,财报显示,该公司当季总净发卖额53亿欧元,环比降落27%;毛利率51.0%,上季度为51.4%;净利润12亿欧元(当前约92.4亿元人平易近币),环比...

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业内动静,两位知恋人士流露美国近日向荷兰施压,意图禁止荷兰光刻机出产企商阿斯麦(ASML)在中国供给一些东西装备的保护办事。中国驻美国年夜使馆暗示,中国否决美国过度强调国度平安概念,勒迫其他国度插手其对中国的手艺封闭。

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业内动静,荷兰当局正在敲定注入最少10亿欧元资金的打算,以尽力将ASML留在荷兰。据悉,ASML不是独一在斟酌搬离荷兰的公司,今朝有少数几家确认正在斟酌将总部迁出荷兰,这足以激发荷兰当局对国内营商情况的存眷与从头审阅。

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