爱游戏-全新 EVG®880 LayerRelease™ 离型层系统将半导体层转移技术产量提高一倍

[导读]奥地利圣弗洛里安——微电机系统（MEMS）、纳米手艺和半导体市场晶圆键合与光刻装备领先供给商EV团体（EVG）本日推出EVG®880 LayerRelease™离型层系统，这是一款专门用在多量量制造 (HVM) 的装备平台，采取了EV团体新型的红外(IR) LayerRelease™ 离型层手艺。与上一代比拟，EVG880离型层系统的产量提高了一倍，其利用的红外激光和非凡配制的无机脱模材料，能有用剥离硅载体基板上键合层、沉积层和发展层，精度可达纳米级别。 2024年5月28日，奥地利圣弗洛里安——微电机系统（MEMS）、纳米手艺和半导体市场晶圆键合与光刻装备领先供给商EV团体（EVG）本日推出EVG 880 LayerRelease™离型层系统，这是一款专门用在多量量制造 (HVM) 的装备平台，采取了EV团体新型的红外(IR) LayerRelease™ 离型层手艺。与上一代比拟，EVG880离型层系统的产量提高了一倍，其利用的红外激光和非凡配制的无机脱模材料，能有用剥离硅载体基板上键合层、沉积层和发展层，精度可达纳米级别。是以，EVG880离型层系统无需玻璃载体，实现了超薄芯片堆叠进步前辈封装，和用在前端处置的超薄3D层堆叠，包罗进步前辈逻辑、存储器和功率器件成型，为将来3D集成供给了新的工艺。 无需玻璃载体，实现3D堆叠 在3D集成中，利用有机粘合剂姑且键合构建器件层必需要用到玻璃基板，业内的常见方式是利用玻璃载体与有机粘合剂姑且粘合，用在构建器件层，再利用紫外(UV)波长激光消融粘合剂，释放器件层，然后将其永远键合在终究产物晶圆上。但是，半导体系体例造装备首要环绕硅设计，加工玻璃基板不但难度年夜，并且价钱昂扬。另外，有机粘合剂的加工温度凡是低在300°C，只能用在后端加工。 EVG880离型层系统操纵红外激光和无机剥离材料，可以或许江南体育在出产情况中以纳米精度对硅载体进行激光解键合，奇妙避开了温度和玻璃载体兼容性问题。这类立异工艺无需利用玻璃基板和有机粘合剂便可实现前端超薄层转移，同时兼容下流工序。EVG880离型层工艺无需改变工艺记实就可以加工极薄的器件晶片。这类超薄器件层进行后续堆叠，可增添互连带宽，为下一代高机能器件设计和芯片朋分带来新的机缘。 离型层手艺兼容高温（最高可达1000°C），撑持高尺度前端工艺，室温红外切割工艺也确保了器件层和载体基板的完全性，而且无需利用载体晶片研磨、抛光和蚀刻相干的昂贵溶剂。 全新EVG880离型层系统专为离型层工艺而生，是一个前端兼容的全主动化多量量制造(HVM)装备平台，它在一个装备中集成了激光暴光、晶圆切割和晶圆清洗功能，具有低保护和高精度激光计量等优势。 EVG 880 LayerRelease™离型层系统 年夜幅提高新型层转移工艺产量 EV团体履行手艺总监保罗·林德纳（Paul Lindner）暗示：“3D集成对优化半导体设计和制造中的功率、机能、面积和本钱(PPAC)指标和实现线路图延续愈来愈主要。晶圆键合或层转移是3D集成绕不开的手艺困难。EVG的离型层手艺是一种真正意义上怪异且通用的层转移手艺，现已被行业领先的研究机构和装备制造商采取，用在进步前辈封装、 3D集成、和将来前端出产线扩大。跟着我们离型层手艺的利用者有望敏捷从初期的行业研究转向制造，EVG加倍重视提高该手艺的出产效力和具有本钱。我们很兴奋此刻可以或许在全新的EVG880多量量制造(HVM)装备平台上利用这项立异手艺，使客户可以或许快速摆设离型层工艺以用在其当前和下一代产物设计。” EV团体现已最先接管新型EVG880离型层系统定单，团体奥地利总部供给产物演示办事。欲知详情，请拜候https://www.evgroup.com/products/bonding/temporary-bonding-and-debonding-systems/evgr880-layerreleasetm。 关在EV团体(EVG) EV团体（EVG）是为半导体、微电机系统（MEMS）、化合物半导体、功率器件和纳米手艺器件制造供给装备与工艺解决方案的领先供给商。其首要产物包罗：晶圆键合、薄晶圆处置、光刻/光刻纳米压印（NIL）与丈量装备，和光刻胶涂布机、清洗机和检测系统。EV团体成立在1980年，可以或许为全球各地的客户和合作火伴收集供给办事与撑持。有关EVG的更多信息，请拜候 www.EVGroup.com。

欲知详情，请下载word文档 下载文档

Jul. 3, 2024 ---- TrendForce集邦咨询指出，自台积电在2016年开辟定名为整合扇出型封裝(InFO)的扇出型晶圆級封裝(FOWLP)手艺，并利用在iPhone7 手机所利用的A10处置器后，专业...

要害字： FOPLP手艺 A10处置器

在当今社会,用好电子装备会让我们的工作糊口加倍轻松愉悦。一款机能出色、操作便捷得存储装备都是晋升效力与乐趣的要害。而铁威马推出的D4-320硬盘盒,将高效办公与高品质文娱完善连系,为用户带来了史无前例的利用体验。

要害字： 铁威马 D4-320硬盘

意法半导体推出了TSB952双运算放年夜器 (运放)。TSB952的电源电压规模是4.5V-36V，具有很高的设计矫捷性，可以使用包罗行业尺度电压轨在内的多种电源。

要害字： ST TSB952双运算放年夜器

2024年7月3日-全球高机能电池公司Enovix Corporation（Nasdaq: ENVX，以下简称Enovix）近日公布，已与加利福尼亚的领先的手艺公司签订和谈，为其夹杂实际（MR）头显产物供给硅电池和电池组...

要害字： Enovix MR

TDK与iCAN全国年夜学生立异创业年夜赛（以下简称iCAN）再次告竣合作，将继续以元器件合作火伴的身份为年夜赛参赛团队供给TDK团体产物，以期让更多中国年夜学生领会TDK和TDK的最新产物与手艺。

要害字： TDK iCAN年夜学生立异创业年夜赛

AMD 与全球领先的高级买卖和履行系统供给商 Exegy 合作，获得了创世界记载的 STAC-T0 基准测试成果，实现了最低 13.9 纳秒 ( ns ) 的买卖履行操作时延。

要害字： AMD STAC-T0

6月25-27日，备受注视的2024亚洲物流双年展在上海新国博国际会展中间昌大进行。 作为亚洲物流供给链行业旗舰展，亚洲物流双年展周全展现海·陆·空物流范畴的立异手艺与办事，物流办事、航空货运、口岸船运、公路/铁路运输、...

要害字： 亚洲物流双年展 物流供给链

7月2日，OpenHarmony赛途“职”引勾当（以下简称“勾当”）在上海交通年夜学进行。本次勾当面向上海交通年夜学师生分享了OpenHarmony手艺立异与成长前景，并带来了中国研究生操作系统开源立异年夜赛、2024中国国际...

要害字： 华为 OpenHarmony

在现在重视表面的社会中，护肤步调和脸部洁净对人们来讲变得愈发主要。而陪伴着现代护肤手艺的前进，脸部洁净东西已成为人们平常护肤法式中的主要构成部门。作为全球领先的热塑性弹性体（TPE）制造商 - 凯柏胶宝®凭仗着其立异的...

要害字： TPE材料 洁面仪

· Ceva 凭仗在物联网毗连方面的市场带领地位和在音频和视觉传感方面的壮大专业常识，开辟针对嵌入式装备的优化 NPU，帮忙半导体企业和 OEM厂商阐扬边沿人工智能的潜力

要害字： 人工智能 AIoT

2024年7月2日，上海 - 致力在供给高品质芯片的国内优异摹拟和数模夹杂芯片设计商上海类比半导体手艺有限公司(下称“类比半导体”或“类比”)本日公布正式推出其全新OPJ301x系列超低输入偏置电流高机能通用运算放年夜器。...

要害字： 运算放年夜器 主动化

中国上海，2024年7月2日——Teledyne将在7月8日至10日在上海新国际博览中间举行的中国(上海)机械视觉展上展现全新的成像手艺。接待莅临E2.2302展位，Teledyne DALSA、e2v和FLIR IIS...

要害字： 机械视觉 工场主动化

北京——2024年7月2日 亚马逊云科技公布，经由过程与光环新网和西云数据的合作无懈，在亚马逊云科技(北京)区域和(宁夏)区域推出私有证书授权治理办事Amazon Private Certificate Authority(...

要害字： 物联网 数字化

Syensqo联袂蔚来，将成立结合尝试室，阐扬各自优势，聚焦立异材料的研发，和产物利用的研究和验证，配合鞭策新能源汽车更进步前辈的材料利用成长。

要害字： 新能源汽车